光學(xué)膜厚儀利用光學(xué)的特點(diǎn),能夠直接檢測出物件涂層、或者是其它物件的厚度。光學(xué)膜厚測量儀所利用的工作原理,便是光的折射與反射。
這種儀器在使用時(shí),擺放在物件的上方,從儀器當(dāng)中發(fā)射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會(huì)在膜的表面形成一個(gè)反射,另一部分則會(huì)透過儀器的薄膜,在薄膜與物件之間的界面開成反射,這個(gè)時(shí)候,薄膜的表面,以及薄膜的底部同時(shí)反射的光會(huì)造成干涉的現(xiàn)象。儀器便是利用了這樣的一種現(xiàn)象,從而測量出物件的厚度。厚度的測量看似簡單,實(shí)測上所利用的光反射原理,卻是需要經(jīng)過一系列的設(shè)計(jì)才能達(dá)到如此理想狀態(tài)。如此光學(xué)膜厚測量儀的使用,便也有著其它傳統(tǒng)測厚儀所沒有的優(yōu)點(diǎn)。
光學(xué)膜厚儀的使用注意事項(xiàng):
1.零點(diǎn)校準(zhǔn)
在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn),因?yàn)橹暗臏y量參數(shù)會(huì)影響該次對物體的測量,零點(diǎn)校準(zhǔn)可以消除前次測量有參數(shù)的影響,能夠降低測量的結(jié)果的誤差,使測量結(jié)果更加精確。
2.基體厚度不宜過薄
在使用光學(xué)膜厚儀對物體進(jìn)行測量時(shí)基體不宜過薄,否則會(huì)極大程度的影響儀器的測量精度,造成數(shù)據(jù)結(jié)果不準(zhǔn)確,影響測量過程的正常進(jìn)行。
3.物體表面粗糙程度
對于被測物體的表面不宜太過粗糙,因?yàn)榇植诘谋砻嫒菀滓鸸獾难苌?,降低了光學(xué)測量儀的測量精度,造成很大的誤差。所以被測物體的表面應(yīng)該盡量保持光滑,以保證測量結(jié)果的精確性。